Petra KŘIŠTOFOVÁ

Bakalářská práce

Bezchromanové selektivní leptání monokrystalického křemíku

Chromium(VI)-free preferencial etching of sillicon monocrystals
Anotace:
Tato práce se zabývala testováním bezchromových roztoků používaných k selektivnímu leptání křemíkových materiálů. Byla připravována dvě různá leptadla, která byla odzkoušena na rychlost leptání a selektivitu na devíti vzorcích Si. Prvním z použitých roztoků byla směs kyseliny fluorovodíkové, dusičné, octové a vody. Rychlost leptání v této směsi bylo v rozsahu 0,30 - 0,64 ?m/min při teplotě 20 °C. Bylo …více
Abstract:
This bachelor thesis deals with the testing of Cr-free etching solutions which are used for preferential etching of silicon materials. Two etchants were prepared and their etching rate and selectivity were tested on nine Si samples. The first solution contained hydrofluoric acid, nitric acid, acetic acid and water. The etching rate in this solution was 0.30 - 0.64 ?m/min at 20 °C. It was discovered …více
 

Klíčová slova

CZ křemík bezchromové selektivní leptání rychlost leptání
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 23. 4. 2018

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 6. 6. 2018
  • Vedoucí: doc. RNDr. Václav Slovák, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

KŘIŠTOFOVÁ, Petra. Bezchromanové selektivní leptání monokrystalického křemíku. Ostrava, 2018. bakalářská práce (Bc.). OSTRAVSKÁ UNIVERZITA. Přírodovědecká fakulta

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty, autentizovaným studentům ze stejné školy/fakulty
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: OSTRAVSKÁ UNIVERZITA, Přírodovědecká fakulta
https://portal.osu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=47629 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce