Bc. Martin Šetina

Diplomová práce

Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev

Design of plasma deposition control for thin films
Anotace:
Tato práce se zabývá kompletním návrhem a realizací řízení vakuové depoziční komory. Klade si za cíl co nejvíce zmapovat problematiku a navrhnout elektronické řízení, které bude možné snadno přizpůsobovat konkrétním požadavkům výzkumné činnosti v oblasti nanomateriálů a tenkých struktur.
Abstract:
This thesis focuses on the complete design and implementation of control for a vacuum deposition chamber. Its objective is to comprehensively explore the issues and propose electronic control that can be easily adapted to the specific demands of research activities in the field of nanomaterials and thin structures.
 

Klíčová slova

RF PACVD
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 18. 5. 2023

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: doc. Ing. Stanislav Petrík, CSc.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

Šetina, Martin. Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev. Liberec, 2023. diplomová práce (Ing.). Technická univerzita v Liberci. Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Technická univerzita v Liberci, Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií
https://stag.tul.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=43398 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce

Technická univerzita v Liberci

Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií

Magisterský studijní program / obor:
Elektrotechnika a informatika / Mechatronika

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.
 
Název
Vložil
Vloženo
Práva
Theses 7h5d54 7h5d54/2
22. 5. 2023
Složky
Soubory
thesis DP_Setina_2023.pdf
Šmída, J.
23. 5. 2023

  • Co je jinak přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Co je jinak další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Co je jinak pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Co je nové vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Co je nové rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.

  • Co se chystá

    Připravujeme další vylepšení pro mobilní zařízení.