Jaroslav Navrátil

Bakalářská práce

Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie

Application of Polymers for Electron Beam Lithography
Anotace:
Tato práce se zaměřuje na techniku elektronové litografie a přípravu struktur v polymerním rezistu PMMA pomocí expozice elektronovým svazkem. Pozornost je věnována procesu vyvolávání rezistu a vyhodnocení struktur pomocí optického mikroskopu, mechanického profilemetru a mikroskopu atomárních sil (AFM).
Abstract:
This bachelor thesis is focusing on the technique of electron-beam lithography and preparation of structures in polymer resist PMMA using electron beam exposure. Attention is paid to the process of resist development and evaluation of structures using an optical microscope, a mechanical profilometer and an atomic force microscope (AFM).
 

Klíčová slova

Elektronová litografie polymerní rezist proces vyvolání kontrast rezistu optická mikroskopie mechanická profilometrie AFM
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2020

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Mgr. Michal Urbánek, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

Navrátil, Jaroslav. Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie. Zlín, 2020. bakalářská práce (Bc.). Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Fakulta technologická
Plny text prace je k dispozici v elektronicke podobe
https://portal2.utb.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=55935 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce

Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně

Fakulta technologická

Bakalářský studijní program / obor:
Chemie a technologie materiálů / Materiálové inženýrství

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.
Všechny práce