Magnetronově naprašovaná tenkovrstvá kovová skla a jejich charakterizace – Michaela KOTRLOVÁ
Michaela KOTRLOVÁ
Diplomová práce
Magnetronově naprašovaná tenkovrstvá kovová skla a jejich charakterizace
Anotace:
V rámci této diplomové práce byla připravena tenkovrstvá kovová skla Zr-Cu kombinací metod vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování a DC magnetronového naprašování v Ar. Byl zkoumán vliv obsahu Cu ve vrstvách (0-100 at. % Cu), použitého napětí na substrátu (Us=Ufl, -30 V, -50 V, -70 V) a délky pulzu (100, 150 a 200 mikrosekund) na prvkové složení, strukturu, tepelné, mechanicke a povrchové …víceAbstract:
This thesis focuses on the preparation of Zr-Cu thin film metallic glasses deposited by HiPIMS and DC magnetron sputtering in pure argon. The influence of the coposition of the Zr-Cu thin films (0-100 at. % Cu), the value of substrate bias (Us=Ufl, -30 V, -50 V, -70 V) and the pulse duration (100, 150 and 200 microseconds) on the structure composition, structure, thermal, mechanical and surface properties …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 8. 8. 2016
Zveřejnit od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: Doc. Ing. Petr Zeman, Ph.D.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
KOTRLOVÁ, Michaela. Magnetronově naprašovaná tenkovrstvá kovová skla a jejich charakterizace. Plzeň, 2016. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI
Fakulta aplikovaných vědMagisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství
Práce na příbuzné téma
-
Magnetronová depozice tenkovrstvých kovových slitin a nitridových vrstev na bázi Zr-Cu
Michal ZÍTEK -
Tenkovrstvé povlaky na bázi kovových skel Zr-Hf-Cu
Kseniia HUTSALO -
Magnetronová depozice tenkovrstvých kovových slitin a nitridových vrstev na bázi Zr-Cu
Michal ZÍTEK -
Magnetronová depozice tenkovrstvých slitin ze systému W-Zr-Cu
Ondřej HODAN