Michal TICHÝ

Bakalářská práce

Vliv délky napěťového pulzu na reaktivní vysokovýkonovou pulzní magnetronovou depozici vrstev HfO2

The influence of a voltage pulse duration on reactive High-Power Impulse Magnetron Sputtering deposition of HfO2 films
Anotace:
Tato bakalářská práce se zabývá problematikou přípravy tenkých vrstev HfO2 pomocí reaktivního vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování (HiPIMS) a měření jejich vlastností. Byl zkoumán vliv délky napěťového pulzu na parametry magnetronového výboje, depoziční rychlost a vlastnosti připravených vrstev při zachování průměrné výkonové hustoty na terči přibližně 30 W.cm-2, frekvenci f = …více
Abstract:
This bachelor thesis deals with the preparation of HfO2 thin films using reactive high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) and measuring of their properties. The influence of a voltage pulse duration on parameters of magnetron discharge, deposition rate and properties of prepared films were studied, while maintaining average power density on the target approximately at 30 W.cm-2, frequency …více
 

Klíčová slova

HfO2 reaktivní magnetronové naprašování HiPIMS délka pulzu
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 6. 5. 2014
Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Ing. Jiří Rezek, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

TICHÝ, Michal. Vliv délky napěťového pulzu na reaktivní vysokovýkonovou pulzní magnetronovou depozici vrstev HfO2. Plzeň, 2014. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd

Plný text práce

Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
Vázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
https://portal.zcu.cz/stag?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=60521 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce