Martina BENEŠOVÁ

Bakalářská práce

Počítačová simulace procesů na terči během reaktivního magnetronového naprašování

Anotace:
Tato práce se zabývá zkoumáním procesů na terči během reaktivního magnetronového naprašování. V práci je shrnuta teorie reaktivního magnetronového naprašování a metodika simulace procesů na terči na atomární úrovni a popsán program SDTrimSP. Byly provedeny simulace přímé implantace a "knock-on" implantace kyslíku do terče v závislosti na energii dopadajících atomů a složení terče. Simulace těchto procesů …více
Abstract:
This thesis studies processes on a target during reactive magnetron sputtering. The theory of reactive magnetron sputtering and the methodology of simulations of atomic scale processes on the target are summarized and also SDTrimSP program is described in the first part of the thesis. Simulations of direct implantation and "knock-on" implantation of oxygen into the target for various energy of incident …více
 

Klíčová slova

reaktivní magnetronové naprašování metoda BCA Monte Carlo program SDTrimSP implantace kyslíku knock-on implantace kyslíku
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 26. 5. 2016
Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Ing. Tomáš Kozák, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

BENEŠOVÁ, Martina. Počítačová simulace procesů na terči během reaktivního magnetronového naprašování. Plzeň, 2016. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd

Plný text práce

Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
Vázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
https://portal.zcu.cz/stag?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=68823 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce