Tomáš VYTISK

Bakalářská práce

Pulzní magnetronová depozice tenkovrstvých materiálů ze systému Zr-Si-B-C-N

Pulsed magnetron deposition of Zr-Si-B-C-N thin films
Anotace:
Tato práce popisuje současnou problematiku tenkých vrstev na bázi Zr a B4C. Ukazuje jakých výsledků se do této doby dosáhlo a jaké jsou další možnosti. V další části práce jsou popsány metody tvorby tenkovrstvých systémů zejména pulzní magnetronová depozice. Dále pak metody studia a hodnocení vlastností vrstev (Mechanické, elektrické vlastnosti a oxidační odolnost vrstev za vysokých teplot). V závěru …více
Abstract:
This work investigates current problems of thin films based on Zr and B4C. It shows present achievements and opportunities of this field of study. In next part of the work are described methods of deposition of thin films especially pulsed magnetron deposition. Furthermore methods of observation and study of properties of thin films are described. For example: mechanical and electrical properties and …více
 

Klíčová slova

Tenké vrstvy magnetronová depozice naprašování Zr-Si-B-C-N mechanické vlastnosti rezistivita oxidační odolnost
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 28. 5. 2012
Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

VYTISK, Tomáš. Pulzní magnetronová depozice tenkovrstvých materiálů ze systému Zr-Si-B-C-N. Plzeň, 2012. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd

Plný text práce

Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
https://portal.zcu.cz/stag?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=49976 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce