Vlastnosti vrstev CNx připravených magnetronovým naprašováním – Bc. Jan PROCHÁZKA
Bc. Jan PROCHÁZKA
Diplomová práce
Vlastnosti vrstev CNx připravených magnetronovým naprašováním
Properties of CNx coatings prepared by magnetron sputtering
Anotace:
V rámci této práce byly naprášeny uhlíkové vrstvy magnetronovou depozicí v argonové atmosféře a vrstvy CNx reaktivní magnetronovou depozicí v argon-dusíkové atmosféře. Byl zkoumán vliv teploty substrátu Ts a složení výbojového plynu na strukturní, mechanické a tribologické vlastnosti deponovaných vrstev. Všechny připravené vrstvy jsou dle RTG analýzy amorfní. S rostoucí teplotou substrátu Ts klesá …víceAbstract:
This paper reports on carbon coatings and carbon-nitride (CNx) coatings deposited by reactive magnetron sputtering in argon-nitrogen atmosphere onto Si(100) substrates. The effect of subtrate temperature Ts and gas composition on structural, mechanical and tribological properties of sputtered coatings was investigated. All coatigs are X-ray amorphous. The ammount of nitrogen incorporated in the growing …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 7. 2012
Zveřejnit od: 20. 7. 2012
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
PROCHÁZKA, Jan. Vlastnosti vrstev CNx připravených magnetronovým naprašováním. Plzeň, 2012. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 20.7.2012
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou od 20. 7. 2012 dostupné: světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI
Fakulta aplikovaných vědMagisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství