Vít TEŘL

Bakalářská práce

Počítačové modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev

Anotace:
Předložená bakalářská práce se zaměřuje na studium ionizace atomů sekundárními elektrony v objemu plazmatu pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev. Na tento úkol byl vytvořen počítačový model. V první části je stručně popsán princip a vývoj pulzního vysokovýkonového magnetronového naprašování a způsoby počítačového modelování plazmatu. Ve druhé části je vytvořen počítačový …více
Abstract:
The presented thesis is focused on the ionization of different atoms by secondary electrons in high power impulse magnetron sputtering used for thin film deposition. A computer model was developed for this task. In the first part, the principles and development of high power impulse magnetron sputtering and plasma computer simulations techniques are presented. In the second part there are described …více
 

Klíčová slova

magnetronové naprašování Monte Carlo kolizní metoda transport sekundárních elektronů modelování ionizace
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 13. 7. 2018
Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

TEŘL, Vít. Počítačové modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev. Plzeň, 2018. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd

Plný text práce

Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
Vázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
https://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=76639 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce