Tomáš HORÁK
Bakalářská práce
Optická elipsometrie
Optical Ellipsometry
Anotace:
Tato práce se věnuje určení tloušťky tenké vrstvy metodou nulové elipsometrie na elipsometru LEOI-44. Za pomocí dvou sad úhlů nastavení polarizátoru a analyzátoru jsme schopni touto metodou zjistit výslednou tloušťku tenké vrstvy na substrátu.Abstract:
Calculation of thin film thickness on the base of null ellipsometry method with LEOI-44 Ellipsometer is carried out in this thesis. Two sets of angular setting of polarizer and analyzer allow to find refractive index and thickness values in the model of single homogenous layer.
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 5. 2016
Zveřejnit od: 17. 5. 2016
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: RNDr. Ing. Jan Podloucký
Citační záznam
Jak správně citovat práci
HORÁK, Tomáš. Optická elipsometrie. Olomouc, 2016. bakalářská práce (Bc.). UNIVERZITA PALACKÉHO V OLOMOUCI. Přírodovědecká fakulta
Plný text práce
Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 17.5.2016
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou od 17. 5. 2016 dostupné: světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: UNIVERZITA PALACKÉHO V OLOMOUCI, Přírodovědecká fakultaUNIVERZITA PALACKÉHO V OLOMOUCI
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Digitální a přístrojová optika
Práce na příbuzné téma
- Žádné práce na příbuzné téma.
Název
Vložil
Vloženo
Práva