Bc. Jiří Jančálek

Diplomová práce

Depozice a charakterizace tenkých vrstev systému As-S

Deposition and properties of As-S chalcogenide glass thin films
Anotace:
Tato diplomová práce se zabývá studiem struktury a vlastností tenkých vrstev chalkogenidových skel systému As-S připravených vakuovým napařováním a metodou spin-coating. Studovány bylo složení, struktura, optické vlastnosti, chemická odolnost a možnosti strukturování tenkých vrstev skel o složení As30S70, As35S65 a As40S60 pomocí litografie elektronovým svazkem s následným selektivním leptáním.
Abstract:
This diploma thesis deals with a study of structure and properties of chalcogenide glass thin films of As-S system prepared by vacuum thermal evaporation and by spin-coating. Composition, structure, optical properties and chemical resistance of As30S70, As35S65 and As40S60 thin films had been studied. Electron beam lithography was used for study of structuring possibilities.
 

Klíčová slova

chalcogenide glasses thin films vacuum thermal evaporation spin-coating
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 9. 5. 2018
Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Ing. Karel Pálka, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

Jančálek, Jiří. Depozice a charakterizace tenkých vrstev systému As-S. Pardubice, 2018. diplomová práce (Ing.). Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická

Plný text práce

Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Univerzita Pardubice, Fakulta chemicko-technologická
https://portal.upce.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=35729 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce

Univerzita Pardubice

Fakulta chemicko-technologická

Magisterský studijní program / obor:
Chemie a technologie materiálů / Materiálové inženýrství

Práce na příbuzné téma

Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.