Multikomponentní povlaky připravené pulzním reaktivním mangetronovým naprašováním – Michal PROCHÁZKA
Michal PROCHÁZKA
Diplomová práce
Multikomponentní povlaky připravené pulzním reaktivním mangetronovým naprašováním
Multicomponent coatings prepared by pulsed reactive magnetron sputtering
Anotace:
Vrstvy na bázi HfB2 jsou známé vysokou tvrdostí, nízkou rezistivitou a oxidační odolností. Díky těmto vlastnostem jsou užitečné v mnoha průmyslových odvětvích. Tato práce je zaměřena na oxidační odolnost vrstev Hf-Si-B-C-N a na její změnu vlivem přidávání dusíku do pracovního plynu. V teoretické části je popsán princip ochrany před oxidací a metody vytváření a analýzy tenkých vrstev. Výsledková část …víceAbstract:
HfB2-based thin layers are well known for its high hardness, low electrical resistivity and oxidation resistance. Due to these properties the films are useful in many industrial applications. This study is focused on oxidation resistance of Hf-Si-B-C-N thin films and its change caused by addition of nitrogen into the working gas. The principle of protection against oxidation and methods of forming …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 31. 5. 2015
Zveřejnit od: 31. 5. 2015
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 19. 6. 2015
- Vedoucí: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
PROCHÁZKA, Michal. \textit{Multikomponentní povlaky připravené pulzním reaktivním mangetronovým naprašováním}. Online. Diplomová práce. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta aplikovaných věd. 2015. Dostupné z: https://theses.cz/id/mfje70/.
Jak správně citovat práci
PROCHÁZKA, Michal. Multikomponentní povlaky připravené pulzním reaktivním mangetronovým naprašováním. Plzeň, 2015. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 31.5.2015
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou od 31. 5. 2015 dostupné: světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI
Fakulta aplikovaných vědMagisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství
Práce na příbuzné téma
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů
Milada KREJČOVÁ -
Pulzní magnetronové naprašování multikomponentních vrstev a měření jejich elektrické vodivosti a mechanických vlastností
Michaela KOTRLOVÁ -
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev obsahujících měď a stanovení jejich fyzikálních a mechanických vlastností
Jakub BLAŽEK -
Zdroj pro pulzní magnetronové naprašování
Jakub Schulz -
Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů
Milada KREJČOVÁ -
Magnetronové naprašování senzoricky aktivních nanostruktur na bázi plazmonických materiálů
Alexej HORÁK