Bc. Anna Krobotová

Diplomová práce

Charakterizace tenkých vrstev nanesených magnetronovým naprašováním na teplotně citlivé materiály

Characterization of thin films deposited by magnetron sputtering on temperature sensitive materials
Anotace:
Diplomová práce je zaměřena na charakterizaci tenkých vrstev CuAg, Cu, Ti, Zr, CuxAgyO, CuxO, TiOx a ZrOx nanesených na teplotně citlivé filtrační materiály technologií PVD, DC magnetronovým naprašováním. Byla provedena charakterizace vrstev elektronovou mikroskopií (SEM) s EDS analýzou, měřením jejich tloušťky, hodnocením parametrů drsnosti povrchu, tribologickou zkouškou a hodnocením odolnosti vůči …více
Abstract:
The Diploma Thesis is focused on the characterization of thin films of CuAg, Cu, Ti, Zr, CuxAgyO, CuxO, TiOx and ZrOx deposited by PVD technology, specifically DC magnetron sputtering, on temperature-sensitive filtration materials. The characterization included scanning electron microscopy (SEM) with EDS analysis, thickness measurement, surface roughness parameter evaluation, tribological testing, …více
 
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 22. 5. 2024

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Ing. Totka Bakalova, Ph.D.

Citační záznam

Jak správně citovat práci

Krobotová, Anna. Charakterizace tenkých vrstev nanesených magnetronovým naprašováním na teplotně citlivé materiály. Liberec, 2024. diplomová práce (Ing.). Technická univerzita v Liberci. Fakulta strojní

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Technická univerzita v Liberci, Fakulta strojní
 
Název
Vložil
Vloženo
Práva
Theses otj5oj otj5oj/2
22. 5. 2024
  • Co je jinak přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.
  • Co je jinak další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.
  • Co je jinak pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.
  • Co je nové vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.
  • Co je nové rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.
  • Co se chystá

    Připravujeme další vylepšení pro mobilní zařízení.