Jednotka pro odpařování precursoru pro PE CVD aparaturu – Jana MACKŮ
Jana MACKŮ
Bakalářská práce
Jednotka pro odpařování precursoru pro PE CVD aparaturu
Evaporation Unit for a precursor for PECVD apparatus
Abstract:
The aim of the BS thesis is the design and construction of an electrically heated unit for controlled evaporation of precursor for PECVD apparatus. The work contains a description of the design of the evaporation unit and its implementation. The experimental measurements were performed with a PECVD apparatus. Thus, the designation of the characteristics of the evaporation unit was done to enable the …víceAbstract:
Cílem bakalářské práce je návrh a provedení elektricky vyhřívané jednotky pro řízené odpařování precursoru pro PECVD aparaturu. Práce obsahuje popis návrhu vypařovací jednotky a jejího praktického provedení. Experimentální měření charakteristik bylo provedeno v PECVD aparatuře. Takto byly určeny charakteristiky odpařovací jednotky pro umožnění jejího použití v laboratořích. Dále je poskytnuto srovnání …více
Jazyk práce: angličtina
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 27. 4. 2007
Zveřejnit od: 27. 4. 2007
Identifikátor:
5962
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 5. 6. 2007
- Vedoucí: prof. RNDr. Petr Špatenka, CSc.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
MACKŮ, Jana. Jednotka pro odpařování precursoru pro PE CVD aparaturu. Č. Bud., 2007. bakalářská práce (Bc.). JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH. Pedagogická fakulta
Plný text práce
Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti až od 27. 04. 2007
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou od 27. 4. 2007 dostupné: světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH, Pedagogická fakultaJIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH
Pedagogická fakultaBakalářský studijní program / obor:
Elektrotechnika a informatika / Měřicí a výpočetní technika
Práce na příbuzné téma
- Žádné práce na příbuzné téma.
Název
Vložil
Vloženo
Práva