Daniel Pokorný

Bakalářská práce

Cyklické silylselenidy jako prekurzory pro depozice atomárních\nl{} vrstev

Cyclic silylselenides as precursors for atomic layer deposition
Anotace:
V rámci této bakalářské práce byla vypracována literární rešerše historie, využití a představení prekurzorů selenu pro technologii depozice atomárních vrstev (ALD). V experimentální části byly připraveny tři prekurzory na bázi cyklických silylselenidů, z nichž jeden nebyl v literatuře dosud popsán. Výchozí sloučeninou pro všechny cílové sloučeniny je selenid lithný, připravený in situ z elementárního …více
Abstract:
A literature search work focusing on history and applications of selenium precursors for Atomic Layer Deposition (ALD) technology has been introduced in this bachelor thesis. Three precursors based on cyclic silylselenides, one completely novel, were prepared within the experimental part. Starting materials for all target molecules involved lithium selenide, prepared in situ from elemental selenium …více
 

Klíčová slova

Cyklický silylselenid selen syntéza depozice atomárních vrstev (ALD)
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 16. 6. 2021
Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: prof. Ing. Filip Bureš, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

Pokorný, Daniel. Cyklické silylselenidy jako prekurzory pro depozice atomárních\nl{} vrstev. Pardubice, 2021. bakalářská práce (Bc.). Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická

Plný text práce

Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Univerzita Pardubice, Fakulta chemicko-technologická
https://portal.upce.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=41722 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce