Fenomenologický model pro vysokovýkonovou pulzní reaktivní magnetronovou depozici dielektrických vrstev – Michal ŠULA
Michal ŠULA
Bakalářská práce
Fenomenologický model pro vysokovýkonovou pulzní reaktivní magnetronovou depozici dielektrických vrstev
A phenomenological model for high energy pulse reactive magnetron sputtering of dielectric layers
Anotace:
Předložená bakalářská práce se nejdříve zabývá obecným shrnutím současného stavu problematiky pulzního reaktivního naprašování tenkých dielektrických vrstev. Jsou popsány základní údaje a problémy tohoto oboru, a software užitý pro simulace srážek částic SDTrimSP. Dále se práce zabývá popsáním fenomenologického modelu reaktivního naprašování tenkých vrstev jeho následnou analýzou. Jsou prezentovány …víceAbstract:
Presented thesis is first, at the beggining, focused on summation of the current state in the field of pulsed reactive sputtering of dielectric thin films. Basic terms and problems are presented, along with short description of SDTrimSP, a software used for simulation of particle collisions. Next, the work focuses on description of a phenomenological model of reactive sputtering of thin films, and …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 16. 8. 2013
Zveřejnit od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 22. 8. 2013
- Vedoucí: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
ŠULA, Michal. \textit{Fenomenologický model pro vysokovýkonovou pulzní reaktivní magnetronovou depozici dielektrických vrstev}. Online. Bakalářská práce. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta aplikovaných věd. 2013. Dostupné z: https://theses.cz/id/pcm479/.
Jak správně citovat práci
ŠULA, Michal. Fenomenologický model pro vysokovýkonovou pulzní reaktivní magnetronovou depozici dielektrických vrstev. Plzeň, 2013. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI
Fakulta aplikovaných vědBakalářský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná a inženýrská fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev obsahujících měď a stanovení jejich fyzikálních a mechanických vlastností
Jakub BLAŽEK -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle
Michal TICHÝ -
Nízkoteplotní depozice vysoce funkčních termochromických povlaků na bázi VO2 použitím pulzního reaktivního magnetronového naprašování
David KOLENATÝ -
Příprava a charakterizace termochromických povlaků na bázi VO2 pomocí pulzního reaktivního magnetronového naprašování
Michal KAUFMAN -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia
Jiří REZEK -
Reaktivní naprašování vrstev s nízkým Youngovým modulem a charakterizace jejich vlastností
Martin VONÁSEK