Mgr. Martin ŠURANSKÝ, MSc.

Bakalářská práce

Depozice ultratenkých vrstev pomocí plazmy a metody jejich měření

Ultrathin Layer Deposition Employing Plasma and Methods of Their Measurement
Anotace:
Práce se zabývá tématem zdrojů plazmatu za atmosférického tlaku a jejich průmyslových aplikací, zejména v chemickém a plastikářském průmyslu. Tato část zahrnuje jak depozici tenkých vrstev pomocí plazmatu, tak i ostatní aplikace plazmatu za atmosférického tlaku. Druhá část práce podává přehled nejpoužívanějších metod měření tenkých vrstev a shrnuje možnosti a podmínky jejich využití a také jejich výhody …více
Abstract:
This work provides a review of plasma sources operating at atmospheric pressure and their industrial applications including deposition of thin layers. Second part of this work presents a summary of frequenty used methods of measurement of thin films, conditions of their use, their advatages and drawbacks.
 

Klíčová slova

plazma plazmatické technologie tenké vrstvy zdroje atmosférického plazmatu
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 1. 6. 2012
Zveřejnit od: 1. 6. 2012

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Ing. Tomáš Sedláček, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

ŠURANSKÝ, Martin. Depozice ultratenkých vrstev pomocí plazmy a metody jejich měření. Zlín, 2012. bakalářská práce (Bc.). Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická

Plný text práce

Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 1.6.2012

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou od 1. 6. 2012 dostupné: autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Fakulta technologická
Plny text prace je k dispozici v elektronicke podobe
https://portal.utb.cz/stag?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=27231 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce