Bc. Jan Kotěna

Diplomová práce

Příprava a charakterizace strukturovaných povrchů na bázi křemíku

Preparation and Characterization of Silicon-based Structured Surfaces
Anotace:
Cílem této práce byl vývoj a optimalizace nového postupu přípravy strukturovaných povrchů na bázi křemíku metodou anizotropního leptání v teplotních spádech. Tyto povrchy byly následně charakterizovány metodami pro zobrazení topografie povrchu mikroskopií atomárních sil (AFM) a skenovací elektronovou mikroskopií (SEM). Byl zkoumán vliv čistoty povrchu, složení leptacího činidla, času leptání, objemu …více
Abstract:
The goal of this work was the development and optimization of a novel process for the pre-paration of structured silicon-based surfaces using anizotropic etching in a temperature gradient. These surfaces were further characterized using surface displaying methods atomic force microscopy (AFM) and scanning electron microscopy (SEM).The effects of etching solvent composition, etch time, etching solvent …více
 

Klíčová slova

teplotní spád křemík anizotropní leptání KOH AFM SEM prvková analýza
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 26. 5. 2014
Zveřejnit od: 26. 5. 2014

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Ing. Antonín Minařík, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

Kotěna, Jan. Příprava a charakterizace strukturovaných povrchů na bázi křemíku. Zlín, 2014. diplomová práce (Ing.). Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická

Plný text práce

Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 26.5.2014

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou od 26. 5. 2014 dostupné: autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Fakulta technologická
Plny text prace je k dispozici v elektronicke podobe
https://portal.utb.cz/stag?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=34515 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce