Magnetronová depozice tenkovrstvých slitin ze systému W-Zr-Cu – Bc. Ondřej HODAN
Bc. Ondřej HODAN
Diplomová práce
Magnetronová depozice tenkovrstvých slitin ze systému W-Zr-Cu
Anotace:
Tato diplomová práce se zabývá přípravou a zkoumáním magnetronově naprašovaných tenkovrstvých materiálů ze systému W-Zr-Cu. Jedná se o zcela nové materiály, o kterých zatím nebyla publikována žádná studie. Cílem práce bylo připravit tyto materiály s širokém rozsahu složení a charakterizovat je pomocí různých analytických metod. Vrstvy byly zkoumány z hlediska struktury, mikrostruktury a povrchové morfologie …víceAbstract:
This thesis deals with the preparation and investigation of magnetron sputtered thin film materials from the W-Zr-Cu system. These are completely new materials about which no study has been published so far. The aim of the thesis was to prepare these materials in a wide range of compositions and to characterize them using various analytical methods. The films were investigated in terms of structure …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 7. 2023
Zveřejnit od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: Prof. Ing. Petr Zeman, Ph.D.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
HODAN, Ondřej. Magnetronová depozice tenkovrstvých slitin ze systému W-Zr-Cu. Plzeň, 2023. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI
Fakulta aplikovaných vědMagisterský studijní program / obor:
Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství
Práce na příbuzné téma
-
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní naprašování vrstev s nízkým Youngovým modulem a charakterizace jejich vlastností
Martin VONÁSEK -
Vliv průměrné výkonové hustoty na terči během depozice vrstev HfO2 pomocí reaktivního vysoko-výkonového pulzního magnetronového naprašování
Jan HRUŠKA