Diagnostika vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojů pro reaktivní depozici vrstev – Veronika ŠÍMOVÁ
Veronika ŠÍMOVÁ
Bakalářská práce
Diagnostika vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojů pro reaktivní depozici vrstev
Diagnostics of high-power impulse magnetron discharges for deposition of thin films
Anotace:
Tato bakalářská práce je zaměřena na diagnostiku pulzních výbojů při depozici vrstev prostřednictvím optické emisní spektroskopie. V první části jsou popsány metody magnetronového naprašování, atomová a molekulová spektra a přístroje používané při optické emisní spektroskopii. Druhá část je věnována zkoumání spekter naměřených s použitím tantalového terče v atmosféře argonu v závislosti na střední …víceAbstract:
The bachelor thesis is focused on diagnostics of pulsed magnetron discharges during the deposition of thin films by means of optical emission spectroscopy. The first part of the thesis is dedicated to methods of magnetron sputtering, atomic and molecular spectra and equipment for optical emission spectroscopy. The second part is devoted to investigation of spectra measured with the use of tantalum …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 18. 6. 2012
Zveřejnit od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
ŠÍMOVÁ, Veronika. \textit{Diagnostika vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojů pro reaktivní depozici vrstev}. Online. Bakalářská práce. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta aplikovaných věd. 2012. Dostupné z: https://theses.cz/id/vsg9fd/.
Jak správně citovat práci
ŠÍMOVÁ, Veronika. Diagnostika vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojů pro reaktivní depozici vrstev. Plzeň, 2012. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI
Fakulta aplikovaných vědBakalářský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná a inženýrská fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů
Milada KREJČOVÁ -
Pulzní magnetronové naprašování multikomponentních vrstev a měření jejich elektrické vodivosti a mechanických vlastností
Michaela KOTRLOVÁ -
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev obsahujících měď a stanovení jejich fyzikálních a mechanických vlastností
Jakub BLAŽEK -
Zdroj pro pulzní magnetronové naprašování
Jakub Schulz -
Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů
Milada KREJČOVÁ -
Magnetronové naprašování senzoricky aktivních nanostruktur na bázi plazmonických materiálů
Alexej HORÁK