Jan HRUŠKA

Bakalářská práce

Vliv průměrné výkonové hustoty na terči během depozice vrstev HfO2 pomocí reaktivního vysoko-výkonového pulzního magnetronového naprašování

The influence of a average target power density during the deposition of HfO2 films by means of High-Power Impulse Mangnetron Sputtering
Anotace:
Tato práce se zabývá vysoko-výkonovou pulzní magnetronovou depozicí (tzv. HiPIMS) tenkých vrstev dioxidu hafnia. Jsou zkoumány vlastnosti tenkých vrstev HfO2 připravených touto metodou v závislosti na průměrné výkonové hustotě na terči v periodě při délce pulzu 200 s a střídě 10 %. Byly provedeny čtyři depozice s průměrnými výkonovými hustotami 5,5; 18; 33 a 54 Wcm-2. Mezi zkoumané vlastnosti těchto …více
Abstract:
This thesis deals with high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) of hafnium dioxide thin films. Depending on the average target power density in period with pulse length 200 s and duty 10 %, the properties of HfO2 thin films prepared by means of this method are investigated. Four depositions with average power densities 5.5; 18; 33 a 54 Wcm-2 were performed. The investigated properties of these …více
 

Klíčová slova

HiPIMS reaktivní magnetronové naprašování oxid hafničitý
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 28. 5. 2014
Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Ing. Jiří Rezek, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci
Jak správně citovat práci

HRUŠKA, Jan. Vliv průměrné výkonové hustoty na terči během depozice vrstev HfO2 pomocí reaktivního vysoko-výkonového pulzního magnetronového naprašování. Plzeň, 2014. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd

Plný text práce

Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných věd
Vázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
https://portal.zcu.cz/stag?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=60519 Odkaz na soubor do lokálního úložiště instituce