Simulace transportu rozprášených atomů v magnetronových výbojích – Marek BĚLOHOUBEK
Marek BĚLOHOUBEK
Bakalářská práce
Simulace transportu rozprášených atomů v magnetronových výbojích
Anotace:
Tato práce se zabývá simulací transportu neutrálních částic v magnetronových výbojích za nízkých tlaků. Zkoumá procesy v prostoru zadané geometrie a popisuje chování pracovního plynu během rozprašování kovového terče. V práci je shrnuta teorie magnetronového naprašování a numerické metody Direct Simulation Monte Carlo a popsán princip a možnosti použitého programu, který implementuje tuto metodu. Jsou …víceAbstract:
The main subject of this thesis is a simulation of transport of neutral particles in magnetron discharges at low pressure. It focuses on processes in the specified geometry and describes interaction of argon process gas with the sputtered metal. The theory of magnetron sputtering and of the Direct Simulation Monte Carlo numerical method is described. A computer program implementing this method is used …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 29. 5. 2018
Zveřejnit od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: Ing. Tomáš Kozák, Ph.D.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
BĚLOHOUBEK, Marek. Simulace transportu rozprášených atomů v magnetronových výbojích. Plzeň, 2018. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI
Fakulta aplikovaných vědBakalářský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná a inženýrská fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Simulace transportu par kovu v magnetronovém naprašování metodou Direct simulation Monte Carlo
Radoslav Brunovský -
Simulace transportu par kovu v magnetronovém naprašování metodou Direct simulation Monte Carlo
Radoslav Brunovský -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výkonová mapa reaktoru VVER-1000 s využitím Monte Carlo kódu KENO-VI
Filip DOMIN -
Modeling of transport properties of ions of krypton and xenon for optimization of cold rare-gas plasmas generators
Cyril Van de Steen -
Modelling of transport properties of molecular ions of helium in air
Martin Beseda -
Určení toků atomů a iontů na substrát v průběhu magnetronového naprašování
Samuel Kurucz -
Simulace transportu par kovu v magnetronovém naprašování metodou Direct simulation Monte Carlo
Radoslav Brunovský