Mgr. Matej Fekete

Bakalářská práce

Příprava tenkých vstev magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu a jejich charakterizace

Preparation of thin films by high power impulse magnetron sputtering and their characterization
Abstract:
This thesis is dedicated to high power impulse magnetron sputtering. First part is concerned with physical priciples of magnetron sputtering, magnetic field of magnetron, techniques of formation ions of sputtered particles ana spectrums of atoms. In practical part are compared optical emission spectrums of DC discharge and dischage made by high power impulse. There are monitored intensities of selected …více
Abstract:
Táto bakalárska práca sa venuje magnetrónovému naprašovaniu budenému pulzmi veľkého výkonu. Prvá časť sa zaoberá fyzikálnymi princípmi magnetrónového naprašovania, magnetickým poľom magnetrónu, metódami vzniku iónov z rozprášených častíc a spektrami atómov. V praktickej časti sú porovnané opticko emisné spektrá DC výboja a výboja vytváraného pulzmi veľkého výkonu. Sú tu sledované intenzity vybraných …více
 

Klíčová slova

magnetrónové naprašovanie pulzy veľkého výkonu opticko emisná spektroskopia magnetron sputtering high power impulses optical emission spectroscopy
 
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 24. 5. 2013
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/oojls/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 21. 6. 2013
  • Vedoucí: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce