Příprava tenkých vstev magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu a jejich charakterizace – Mgr. Matej Fekete
Mgr. Matej Fekete
Bachelor's thesis
Příprava tenkých vstev magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu a jejich charakterizace
Preparation of thin films by high power impulse magnetron sputtering and their characterization
Abstract:
This thesis is dedicated to high power impulse magnetron sputtering. First part is concerned with physical priciples of magnetron sputtering, magnetic field of magnetron, techniques of formation ions of sputtered particles ana spectrums of atoms. In practical part are compared optical emission spectrums of DC discharge and dischage made by high power impulse. There are monitored intensities of selected …moreAbstract:
Táto bakalárska práca sa venuje magnetrónovému naprašovaniu budenému pulzmi veľkého výkonu. Prvá časť sa zaoberá fyzikálnymi princípmi magnetrónového naprašovania, magnetickým poľom magnetrónu, metódami vzniku iónov z rozprášených častíc a spektrami atómov. V praktickej časti sú porovnané opticko emisné spektrá DC výboja a výboja vytváraného pulzmi veľkého výkonu. Sú tu sledované intenzity vybraných …more
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 24. 5. 2013
Identifier:
https://is.muni.cz/th/oojls/
Thesis defence
- Date of defence: 21. 6. 2013
- Supervisor: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
FEKETE, Matej. \textit{Příprava tenkých vstev magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu a jejich charakterizace} Online. Bachelor's thesis. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2013. Available from: https://theses.cz/id/08etsw/. [cit. 2024-04-20].
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Physics
Theses on a related topic
-
Sub-nanosecond optical diagnostics of streamer discharges
Lukáš Kusýn -
Časově rozlišená spektroskopie HIPIMS výboje
Matej Fekete -
Příprava nanostrukturovaných tenkých vrstev magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu
Katarína Bernátová -
Určení absolutní koncentrace částic při naprašování pulzy velkého výkonu
Šimon Žulták -
Vizualizace ionizačních center při naprašování pulzy velkého výkonu
Marta Šlapanská -
Study of PVD process driven by high power pulses
Peter Klein -
Study of Bragg Gratings Exposed to High Optical Power
Dumitru Osoianu -
Impulsy současnosti - kolekce dezénů pro oděv
Anna-Marie Klausová