Dekontaminace povrchu vzorků pro řádkovací elektronovou mikroskopii pomocí plazmatu

Bc. Martin Poljak

Bakalářská práce

Decontamination of sample surface for Scanning Electron Microscopy using to plasma

Abstract:

This thesis deals with the problem of removal of organic contamination using a plasma cleaning method. The source of plasma was a wide pressure range – coplanar dielectric barrier discharge (WPR – CDBD). The effects of contamination removal were studied with EDX, SEM and UV photometry methods. The experiments verified the effect of plasma cleaning and its dependence on parameters such as distance from the discharge or layer homogeneity.

Abstract:

Tato bakalářská práce se zabývá problematikou čištění povrchů od organické kontaminace metodou plazmového čištění. Metoda byla uskutečněna in situ pomocí konstrukčně zjednodušeného koplanárního dielektrického bariérového výboje použitelného při širokém rozmezí tlaku (WPR – CDBD). S cílem vyhodnocení úbytku nebo změny vrstvy konta-minantu byly použity kvantitativní i kvalitativní metody EDX, SEM a UV fotometrie. Metody ověřily vliv plazmového čištění na parametrech jako je vzdálenost od výboje nebo homogenita vrstev.

Klíčová slova

plazmové čistenie, kontaminácia kremíkových substrátov, UV fotometria, EDX, plasma cleaning, contamination on silicon substrates, UV photometry

Jazyk práce: slovenština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 6. 1. 2020

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 7. 2. 2020
• Vedoucí: doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.
• Oponent: doc. RNDr. Antonín Brablec, CSc.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Biofyzika