Optická emisní spektroskopie pro diagnostiku nízkoteplotního plazmatu

Filip ČIŽMÁRIK

Bakalářská práce

Anotace:

Tato bakalářská práce je zaměřena na neinvazivní diagnostickou metodu optickou emisní spektroskopii pro diagnostiku nízkoteplotního plazmatu. Hlavním cílem této práce je implementace OES do experimentů vysoko-výkonového pulzního magnetronového naprašování tenkých vrstev, základní diagnostika nízkoteplotních plazmatických výbojů a následné zpracování a vyhodnocení naměřených dat. V rámci práce byly snímány spektrální čáry Ar+, Ti+, Ti, O v časově-rozlišeném měření. Byla sledována jejich intenzita v závislosti na průtoku reaktivního plynu O2 do depoziční komory a zda byla tato měření provedena za přítomnosti surfatronového výboje, či nikoli.

Abstract:

The thesis focuses on noninvasive diagnostic method Optical Emission Spectroscopy for diagnostics of low temperature plasma. The main aim of the thesis is the implementation of OES into experiments of the high power impulse magnetron sputtering of thin films, basic diagnostics of the low-temperature plasma discharges and the following processing and assessment of the measured data. Within this thesis there were sensing spectral lines Ar+, Ti+, Ti, O in time-resolved measurement. The intensity of these lines was observed depending on the flow rate of reactive gas O2 into deposition chamber. These measurement were performed here either in the presence of surfatron discharge or without it.

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 22. 4. 2016

Zveřejnit od: 22. 4. 2016

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Mgr. Martin Čada, Ph.D.

JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Elektrotechnika a informatika / Měřicí a výpočetní technika