Tenké vrstvy Sn-Cu-O a Sn-Cu-N vytvářené magnetronovým naprašováním – Mgr. Martin HROMÁDKA
Mgr. Martin HROMÁDKA
Doctoral thesis
Tenké vrstvy Sn-Cu-O a Sn-Cu-N vytvářené magnetronovým naprašováním
Thin Sn-Cu-O and Sn-Cu-N Films Prepared by Magnetron Sputtering
Abstract:
Tato disertační práce se zabývá problematikou tenkých vrstev Sn-Cu-O a Sn-Cu-N připravených metodou reaktivního magnetronového naprašování. Hlavní pozornost byla věnována nalezení korelací mezi depozičními parametry, prvkovým složením připravených vrstev, jejich strukturou a následně vlastnostmi. Po provedení přehledu literatury a zhodnocení současného stavu problematiky ve druhé kapitole, jsou ve …moreAbstract:
é při Ts = 500 °C byly elektricky vodivé (3,4e-5-3,4e-6 Ohmm) a při Ts = RT elektricky nevodivé.Abstract:
This Ph.D. thesis deals with Sn-Cu-O and Sn-Cu-N coatings prepared by reactive magnetron sputtering. The main attention was devoted to find the correlations between process parameters, elemental composition, structure and the properties of the materials formed. After the literature overview and discussion of current status of knowledge provided in the second chapter, aims of the thesis are defined …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 28. 10. 2018
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Supervisor: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
HROMÁDKA, Martin. \textit{Tenké vrstvy Sn-Cu-O a Sn-Cu-N vytvářené magnetronovým naprašováním}. Online. Doctoral theses, Dissertations. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2018. Available from: https://theses.cz/id/0y7gd7/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
HROMÁDKA, Martin. Tenké vrstvy Sn-Cu-O a Sn-Cu-N vytvářené magnetronovým naprašováním. Plzeň, 2018. disertační práce (Ph.D.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesDoctoral programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Plasma Physics and Physics of Thin Films
Theses on a related topic
-
Tvrdé slitinové vrstvy se zvýšenou odolností proti vzniku trhlin
Zuzana ČIPEROVÁ -
Asfaltové směsi se zvýšenou odolností vůči vzniku trhlin
Roman Stromecký -
Odolnost slinutého karbidu vůči vzniku a šíření tepelných trhlin
Peter Smrž -
Individuální lidský pach jako kriminalistická stopa vytvořená kontaktním nebo bezkontaktním přenosem a jeho odolnost vůči fyzikálním vlivům
Milena Santariová -
Možnosti jednotek radiačního a chemického průzkumu AČR v případě vzniku radiační nebo chemické havárie
Jiří NIMANSKÝ -
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Zuzana ČIPEROVÁ -
Vliv přídavku nanočástic připravených zelenou syntézou na tribologické vlastnosti lubrikantu
Ondřej Seibert -
Vliv periody modulace na mechanické a tribologické vlastnosti tenkých vrstev TiN-ZrN aplikovaných povlakovací metodou Arc-PVD
Štěpán Gürtler