Studium vlivu metody depozice na vlastnosti tenkých vrstev\nl{} chalkogenidových skel systému As-S-Se

Petr Hnízdo

Bakalářská práce

The influence of deposition method on the properties of chalcogenide glass thin films of As-S-Se system

Anotace:

Tato práce je věnována studiu tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As30S50Se20, jejich rozdílům po depozici metodou spin-coating a vakuovým napařením, změně jejich vlastností po tepelné úpravě, nebo exponování UV zářením a následném vlivům na optické vlastnosti, strukturu a rychlost leptání vrstvy.

Abstract:

This thesis studies thin films of chacogenide glass of As30S50Se20 composition, the diferences in properties in dependence on the used deposition method spin-coating and vacuum thermal evaporation. Study of properties changes after annealing or exposure to UV light was performed, particularly optical properties, structure and etching kinetics of these thin films were studied.

Klíčová slova

Chalkogenidová skla, tenké vrstvy, spin-coating, vakuové napaření, rezist

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 28. 6. 2022

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Ing. Karel Pálka, Ph.D.

Univerzita Pardubice

Fakulta chemicko-technologická

Bakalářský studijní program / obor:
Anorganické a polymerní materiály / Anorganické materiály