Tomáš INGR

Bachelor's thesis

Využití SPM přístrojů "NanoEducator" a NTGRA Aura v nanolitografii

Role of NanoEducator and NTGRA Aura in nanolitography
Abstract:
Tato bakalářská práce se zaobírá elektronovou litografií, fotolitografií a lokální oxidační nanolitografií. Na přístroji NanoEducator se provádí silová litografie a na přístroji NTEGRA Aura lokální oxidační nanolitografie.
Abstract:
This bachelor thesis deals with electron beam lithography, photolithography and local oxidation nanolithography. On the NanoEducator is done force lithography and on the NTEGRA Aura is done local oxidation nanolithography.
 

Keywords

Nanolitografie NanoEducator NTEGRA Aura elektronová litografie fotolitografie lokální oxidační nanolitografie
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 17. 4. 2012
Accessible from:: 17. 4. 2012

Thesis defence

  • Supervisor: Doc. RNDr. Roman Kubínek, CSc.

Citation record

Cite this text
The right form of listing the thesis as a source quoted

INGR, Tomáš. Využití SPM přístrojů "NanoEducator" a NTGRA Aura v nanolitografii. Olomouc, 2012. bakalářská práce (Bc.). UNIVERZITA PALACKÉHO V OLOMOUCI. Přírodovědecká fakulta

Full text of thesis

Accessibility: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 17.4.2012

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • Soubory jsou od 17. 4. 2012 dostupné: světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: UNIVERZITA PALACKÉHO V OLOMOUCI, Přírodovědecká fakulta

PALACKÝ UNIVERSITY IN OLOMOUC

Faculty of Science

Bachelor programme / field:
Physics / Applied Physics

Theses on a related topic

List of theses with an identical keyword.
 
Name
Posted by
Uploaded/Created
Rights
Theses 1e48ni 1e48ni/2
17/4/2012
Folders
Files
thesis Bakalarka.pdf
MARKLOVÁ, E.
18/4/2012

  • Co je jinak přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Co je jinak další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Co je jinak pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Co je nové vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Co je nové rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.

  • Co se chystá

    Připravujeme další vylepšení pro mobilní zařízení.