Využití SPM přístrojů "NanoEducator" a NTGRA Aura v nanolitografii – Tomáš INGR
Tomáš INGR
Bachelor's thesis
Využití SPM přístrojů "NanoEducator" a NTGRA Aura v nanolitografii
Role of NanoEducator and NTGRA Aura in nanolitography
Abstract:
Tato bakalářská práce se zaobírá elektronovou litografií, fotolitografií a lokální oxidační nanolitografií. Na přístroji NanoEducator se provádí silová litografie a na přístroji NTEGRA Aura lokální oxidační nanolitografie.Abstract:
This bachelor thesis deals with electron beam lithography, photolithography and local oxidation nanolithography. On the NanoEducator is done force lithography and on the NTEGRA Aura is done local oxidation nanolithography.
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 17. 4. 2012
Accessible from:: 17. 4. 2012
Thesis defence
- Supervisor: Doc. RNDr. Roman Kubínek, CSc.
Citation record
The right form of listing the thesis as a source quoted
INGR, Tomáš. Využití SPM přístrojů "NanoEducator" a NTGRA Aura v nanolitografii. Olomouc, 2012. bakalářská práce (Bc.). UNIVERZITA PALACKÉHO V OLOMOUCI. Přírodovědecká fakulta
Full text of thesis
Accessibility: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 17.4.2012
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou od 17. 4. 2012 dostupné: světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: UNIVERZITA PALACKÉHO V OLOMOUCI, Přírodovědecká fakultaPALACKÝ UNIVERSITY IN OLOMOUC
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Applied Physics
Theses on a related topic
Name
Posted by
Uploaded/Created
Rights