Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D.

Disertační práce

Development and study of hybrid PVD-PECVD process

Development and study of hybrid PVD-PECVD process
Anotace:
Tato práce se věnuje studiu hybridního PVD-PECVD procesu titanového naprašování v atmosféře obsahující argon a acetylen. PVD část tohoto depozičního procesu je fyzikální rozprašování kovového terče. PECVD část je schopnost fragmentů acetylenu chemicky reagovat v plazmatu a na površích reaktoru (včetně terče i substrátu) i s nimi samotnými. Tento hybridní depoziční proces byl studován experimentálně …více
Abstract:
This work studies the hybrid PVD-PECVD process of titanium sputtering in argon and acetylene atmosphere. The PVD aspect of this deposition process is the physical process of metal target sputtering. The PECVD aspect of this process is the ability of the acetylene fragments to chemically interact in plasma volume and at/with surfaces, including the target and the substrate. This hybrid deposition process …více
 
 
Jazyk práce: angličtina
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 9. 12. 2021

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 18. 1. 2022
  • Vedoucí: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
  • Oponent: Dr. Katalin Balázsi, doc. RNDr. František Lofaj, DrSc.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta