Development and study of hybrid PVD-PECVD process – Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D.
Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D.
Doctoral thesis
Development and study of hybrid PVD-PECVD process
Development and study of hybrid PVD-PECVD process
Abstract:
Tato práce se věnuje studiu hybridního PVD-PECVD procesu titanového naprašování v atmosféře obsahující argon a acetylen. PVD část tohoto depozičního procesu je fyzikální rozprašování kovového terče. PECVD část je schopnost fragmentů acetylenu chemicky reagovat v plazmatu a na površích reaktoru (včetně terče i substrátu) i s nimi samotnými. Tento hybridní depoziční proces byl studován experimentálně …moreAbstract:
This work studies the hybrid PVD-PECVD process of titanium sputtering in argon and acetylene atmosphere. The PVD aspect of this deposition process is the physical process of metal target sputtering. The PECVD aspect of this process is the ability of the acetylene fragments to chemically interact in plasma volume and at/with surfaces, including the target and the substrate. This hybrid deposition process …moreKeywords
magnetronové naprašování reaktivní rozprašování hysterezní chování hybridní PVD-PECVD proces Bergův model model hybridního PVD-PECVD procesu tenké vrstvy nanokompozity nc-TiC/a-C:H magnetron sputtering reactive sputtering hysteresis behavior hybrid PVD-PECVD process Berg's model model of hybrid PVD-PECVD thin film coatings nanocomposites
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 9. 12. 2021
Identifier:
https://is.muni.cz/th/jg9bt/
Thesis defence
- Date of defence: 18. 1. 2022
- Supervisor: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
- Reader: Dr. Katalin Balázsi, doc. RNDr. František Lofaj, DrSc.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceDoctoral programme / field:
Physics / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Studium chování hybridního PVD-PECVD procesu
Tereza Schmidtová -
Studium chování hybridního PVD-PECVD procesu
Tereza Schmidtová -
Příprava nanokompozitních vrstev na bázi titanu
Pavel Souček -
Studium chování hybridního PVD-PECVD procesu
Tereza Schmidtová -
Studium chování hybridního PVD-PECVD procesu
Tereza Schmidtová -
Příprava funkčních vrstev metodami PVD
Radek Žemlička -
Teoretický popis otráveného terče při reaktivním rozprašování feromagnetických kovů pod a nad Curieovou teplotou
Tereza LERCHOVÁ -
REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÁ DEPOZICE NANOKOMPOZITNÍCH TENKÝCH VRSTEV NA BÁZI OXIDŮ A OXYNITRIDŮ
Michal MEISSNER