Zpět na vyhledávání

Vojtěch Schneider

Bachelor's thesis

Vliv brusných kotoučů na parametry desek z karbidu křemíku

Influence of grinding wheels on silicon carbide wafers characteristics
Abstract:
Tato bakalářská práce se zabývá vlivem brusných kotoučů na geometrické parametry desek z karbidu křemíku dále určených pro výrobu polovodičových součástek. Tyto vlivy jsou zjišťovány měřením tvrdosti, hodnocením drsnosti povrchu a za pomoci metod optické i elektronové mikroskopie na vzorcích brusných zubů a vzorcích SiC desek. Dále jsou zde zahrnuta zpracovaná data z výroby poskytnutá firmou ON Semiconductor …more
Abstract:
This bachelor thesis deals with the influence of grinding wheels on the geometrical parameters of silicon carbide wafers further intended for the production of semiconductor components. These effects are investigated by measuring hardness, evaluating surface roughness and using optical and electron microscopy techniques on grinding teeth and SiC plate samples. In addition, processed production data …more
 

Keywords

Karbid křemíku (SiC) broušení parametry SiC desek výroba SiC brusné kotouče

Keywords

Silicon carbide (SiC) grinding SiC wafers parameters production of SiC grinding wheels
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 6. 5. 2022
Identifier: http://hdl.handle.net/10084/147681

Thesis defence

  • Date of defence: 8. 6. 2022
  • Supervisor: Martin Kraus
  • Reader: Petra Matějková

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Accessibility: Plné texty vysokoškolských kvalifikačních prací obhájených na Vysoké škole báňské - Technické univerzitě Ostrava jsou uloženy v repozitáři DSpace. Přístup k plným textům mají všichni uživatelé bez omezení. Přístup je omezen pouze ve výjimečných případech, zpravidla z důvodu ochrany duševního vlastnictví. Nepřístupné práce jsou označeny jako closedAccess nebo embargoedAccess. Tištěné verze prácí jsou uloženy v Ústřední knihovně VŠB-TUO a jsou prezenčně přístupné ve studovně diplomových prací. Další nakládání s prací (kopírování, opisy, MVS)se řídí Knihovní a výpůjčním řádem Ústřední knihovny VŠB-TUO.

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: VŠB – Technická univerzita Ostrava

VSB – Technical University of Ostrava

Fakulta materiálově-technologická

Bachelor programme:
Materiálové inženýrství

Theses on a related topic

List of theses with an identical keyword.
All theses