Zpět na vyhledávání

Bc. Maroš Tkáčik

Diplomová práce

Vyšší harmonické frekvence kapacitně vázaných výbojů

Higher harmonic frequencies in capacitively coupled discharges
Abstract:
This thesis is concerned with higher harmonic frequencies of plasma potential waveforms in capacitively coupled discharge. For plasma potential measurement by uncompensated probe it is necessary to have theoretic model of sheath around it. Thesis is focused on study of model properties and effects influencing amplitudes of higher harmonic frequencies.
Abstract:
Tato diplomová práce se věnuje vyšším harmonickým frekvencím průběhu plazmového potenciálu v kapacitně vázaném výboji. Kvůli měření plazmového potenciálu nekompenzovanou sondou, je za potřebí mít teoretický model stěnové vrstvy kolem ní. Práce je zaměřená na zkoumání vlastností tohoto modelu a dějů ovlivňujících amplitudy vyšších harmonických frekvencí.
 

Klíčová slova

Kapacitně vázaný výboj Vyšší harmonické frekvence Nekompenzovaná sonda Stěnová vrstva Plazmový potenciál Capacitively coupled discharge Higher harmonic frequencies Uncompensated probe Sheath Plasma potential
 
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 11. 5. 2016
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/wzid7/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 13. 6. 2016
  • Vedoucí: Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce