Vyšší harmonické frekvence kapacitně vázaných výbojů – Bc. Maroš Tkáčik
Bc. Maroš Tkáčik
Master's thesis
Vyšší harmonické frekvence kapacitně vázaných výbojů
Higher harmonic frequencies in capacitively coupled discharges
Abstract:
This thesis is concerned with higher harmonic frequencies of plasma potential waveforms in capacitively coupled discharge. For plasma potential measurement by uncompensated probe it is necessary to have theoretic model of sheath around it. Thesis is focused on study of model properties and effects influencing amplitudes of higher harmonic frequencies.Abstract:
Tato diplomová práce se věnuje vyšším harmonickým frekvencím průběhu plazmového potenciálu v kapacitně vázaném výboji. Kvůli měření plazmového potenciálu nekompenzovanou sondou, je za potřebí mít teoretický model stěnové vrstvy kolem ní. Práce je zaměřená na zkoumání vlastností tohoto modelu a dějů ovlivňujících amplitudy vyšších harmonických frekvencí.
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 11. 5. 2016
Identifier:
https://is.muni.cz/th/wzid7/
Thesis defence
- Date of defence: 13. 6. 2016
- Supervisor: Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / field:
Physics / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Organosilicon coatings based on trimethylsilyl acetate monomer prepared using plasma of RF capacitively coupled glow discharge
Štěpánka Kelarová -
Vyšší harmonické frekvence v reaktivním a prašném plazmatu
Jakub Fišák -
In situ studium růstu a leptání tenkých vrstev v nízkotlakých vysokofrekvenčních kapacitně vázaných výbojích
Radek Žemlička -
Diagnostika reaktivního kapacitně vázaného plazmatu
Vojtěch Homola -
Studium vysokofrekvenčních nízkotlakých doutnavých výbojů
Radek Šmíd -
Depozice dusíkem dopovaných organosilikonových tenkých vrstev pomocí plazmatu radiofrekvenčního doutnavého výboje
Roman Přibyl