Vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev – Ing. Branislav ZUŠTIN
Ing. Branislav ZUŠTIN
Doctoral thesis
Vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev
High-power pulsed magnetron sputtering of the films
Anotácia:
Maximální přiváděný výkon v klasickém dc magnetronovém naprašování (dcMS) bývá omezen především materiálem terče a magnety magnetronu. Vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování (HPPMS) umožňuje oproti klasickému dcMS jeho další zvýšení. Jedním z důsledků HPPMS je vysoká ionizace plazmatu a zvýšená ionizace atomů materiálu terče, což otevírá prostor pro další možnosti jak ovlivnit růst deponovaných …viacAbstract:
Maximal power load in classical dc magnetron sputtering (dcMS) is used to be limited especially by the target material and by magnetron?s magnets. High-power pulsed magnetron sputtering (HPPMS) allows in comparison with classical dcMS its additional increasing. One of the benefits of HPPMS is higher plasma ionization degree and increase in ionization of target material atoms which gives additional …viac
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 6. 2011
Identifikátor:
23480
Obhajoba závěrečné práce
Citační záznam
Jak správně citovat práci
ZUŠTIN, Branislav. Vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev. Plzeň, 2011. disertační práce (Ph.D.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti až od 20. 06. 2011
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědUniversity of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesDoctoral programme / odbor:
Applied Sciences and Computer Engineering / Plasma Physics and Physics of Thin Films
Práce na příbuzné téma
-
Vliv průměrné výkonové hustoty na terči během depozice vrstev HfO2 pomocí reaktivního vysoko-výkonového pulzního magnetronového naprašování
Jan HRUŠKA -
Magnetronová depozice tenkovrstvých kovových slitin a nitridových vrstev na bázi Zr-Cu
Michal ZÍTEK -
Optická emisní spektroskopie ve vysokovýkonovém impulzním magnetronovém rozprašování multikomponentního terče
Veronika NĚMCOVÁ -
Nízkoteplotní depozice vysoce funkčních termochromických povlaků na bázi VO2 použitím pulzního reaktivního magnetronového naprašování
David KOLENATÝ -
Telomerový protein TIN2 a jeho interakce při ochraně konců lidských chromosomů
Denisa Horáková -
Vliv periody modulace na mechanické a tribologické vlastnosti tenkých vrstev TiN-ZrN aplikovaných povlakovací metodou Arc-PVD
Štěpán Gürtler -
Vliv doby aplikace monovrstvy z vívrsté TiN/CrN struktury na mechanické a tribologické vlastnosti povlaku
Michal Palič -
Zkoumání efektu iontového bombardování na mikrostrukturu a mechanické vlastnosti ternárních Mn+1AXn nanolaminátů na bázi Tin+1InCn
Jakub MAREŠ