Měření tloušťky nanovrstev připravených metodou sol-gel

Martin Zeman

Bachelor's thesis

Measuring the thickness of nanocoatings prepared by sol-gel method

Abstract:

Tato bakalářská práce se zabývá měřením tloušťky tenkých vrstev a nanovrstev připravených metodou sol-gel na rovných substrátech. Dále byla pozornost věnována omezujícím podmínkám měření (tloušťka, index lomu apod). Tloušťky nanovrstev vybraných anorganických a organicko-anorganických materiálů na průhledných substrátech (sklo, korund) byly změřeny pomocí UV-VIS spektrofotometru a elipsometru. Data z experimentů byla vyhodnocována pomocí programů v Excelu, s jejichž pomocí bylo usilováno o nalezení maximální shody mezi experimentálním a postulovaným průběhem spektrální závislosti transmitance čistého substrátu a substrátu s vrstvami.

Abstract:

This bachelor thesis is concerned with measuring the thickness of thin layers and nanolayers prepared by sol-gel method on flat substrates. Attention was also paid to the limiting conditions of measurement (thickness, refractive index, etc.). Nanolayer´s thicknesses of selected inorganic and organic-inorganic materials on transparent substrates (glass, corundum) were measured using UV-VIS spectrophotometer and ellipsometer. Experimental data were evaluated using the Excel programes, through which it sought to find a maximum agreement between the experimental and the postulated course of spectral dependence of the transmittance of pure substrate and substrate with layers.

Keywords

metoda sol-gel, tenká vrstva, spektrofotometrie, elipsometrie, oxid titaničitý, index lomu

Language used: Czech

Date on which the thesis was submitted / produced: 17. 5. 2013

Accessible from:: 17. 5. 2013

Thesis defence

• Supervisor: doc. Ing. Petr Exnar, CSc.

Technical University of Liberec

Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary Studies

Bachelor programme / field:
Nanotechnology / Nanomaterials