Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2

Bc. Pavel ČURDA

Diplomová práce

Anotace:

Tato práce je zaměřena na reaktivní depozici V1-xWxO2 termochromických povlaků pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování. Jsou uvedeny průmyslové nároky na termochromické povlaky a jejich možné dosažení využitím dopování dalších prvků a antireflexní vrstvy. Mezi často dopované prvky patří wolfram, který efektivně snižuje přechodovou teplotu. Antireflexní vrstvy slouží zejména k vylepšení optických vlastností. Popsána je také depoziční aparatura a analytické metody, jako jsou rentgenová difrakce, elipsometrie, spektrofotometrie a vlnově disperzní spektroskopie. V experimentální části byly připraveny vzorky ZrO2/V1-xWxO2/ZrO2. Je ukázán průběh transmitance a porovnání vlivu depozičních parametrů na technologickou náročnost procesu

Abstract:

This thesis deals with reactive deposition of V1-xWxO2 thermochromic films using High Power Impulse Magnetron Sputtering. The industrial requirements are given for the thermochromic films alongside with possibilities on how to reach them, like doping of other elements and antireflection coating. Tungsten is often used as co-doped element as an effective way how to decrease the transition temperature. Antireflection coating is used mainly to improve the optical properties. The description of deposition system is given as well as the description of analytical methods such as X-ray diffraction, ellipsometry, spectrophotometry and wavelength dispersive spectroscopy. Samples of ZrO2/V1-xWxO2/ZrO2 were prepared in experimental part. The transmittance and the comparison of the influence of deposition parameters on the technological difficulty of deposition process are given.

Klíčová slova

oxid vanadičitý, termochromické povlaky, antireflexní vrstvy, dopování wolframem, chytrá okna

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 29. 5. 2020

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 19. 6. 2020
• Vedoucí: Prof. RNDr. Jaroslav Vlček, CSc.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta aplikovaných věd

Magisterský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství