Simulace transportu par kovu v magnetronovém naprašování metodou Direct simulation Monte Carlo

Bc. Radoslav Brunovský

Bakalářská práce

Vapor transport simulation in magnetron sputtering using Direct simulation Monte Carlo

Abstract:

Aim of this thesis is to determine how influential are input parameters on the results of simulation. In this thesis we study effects of input parameters on the results of Test Particle Monte Carlo simulation of vapor transport in magnetron sputtering. The effects of input parameters are studied through One-at-a-time and Morris sensitivity analysis and the results of TPMC simulations are compared with Direct Simulation Monte Carlo results. TPMC simulations are modeled in 2D geometry with radial symetry and DSMC simulations are modeled in 3D domain.

Abstract:

Cílem této práce je stanovit, jak zásadní jsou vlivy vstupních parametrů na výsledky simulace. V této práci je zkoumán vliv vstupních parametrů na výsledky Test Partcile Monte Carlo simulace transportu par kovů v magnetronovém naprašování. Vliv vstupních parametrů je zkoumán One-at-a-time a Morrisovou citlivostní analýzou a nakonec jsou dosažené výsledky TPMC simulace porovnány s Direct Simulation Monte Carlo simulací. TPMC simulace jsou prováděny ve 2D radiálně symetrické geometrii a DSMC simulace jsou prováděny ve 3D geometrii.

Klíčová slova

Direct Simulation Monte Carlo, Test Particle Monte Carlo, Magnetronové naprašování, Citlivostní analýza, Transport par kovu, Magnetron sputtering, Sensitivity analysis, Vapor transport

Jazyk práce: slovenština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 6. 2021

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 12. 7. 2021
• Vedoucí: Mgr. Adam Obrusník, Ph.D.
• Oponent: Mgr. Peter Klein, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika