Bc. Radoslav Brunovský

Bachelor's thesis

Simulace transportu par kovu v magnetronovém naprašování metodou Direct simulation Monte Carlo

Vapor transport simulation in magnetron sputtering using Direct simulation Monte Carlo
Abstract:
Aim of this thesis is to determine how influential are input parameters on the results of simulation. In this thesis we study effects of input parameters on the results of Test Particle Monte Carlo simulation of vapor transport in magnetron sputtering. The effects of input parameters are studied through One-at-a-time and Morris sensitivity analysis and the results of TPMC simulations are compared with …more
Abstract:
Cílem této práce je stanovit, jak zásadní jsou vlivy vstupních parametrů na výsledky simulace. V této práci je zkoumán vliv vstupních parametrů na výsledky Test Partcile Monte Carlo simulace transportu par kovů v magnetronovém naprašování. Vliv vstupních parametrů je zkoumán One-at-a-time a Morrisovou citlivostní analýzou a nakonec jsou dosažené výsledky TPMC simulace porovnány s Direct Simulation …more
 

Keywords

Direct Simulation Monte Carlo Test Particle Monte Carlo Magnetronové naprašování Citlivostní analýza Transport par kovu Magnetron sputtering Sensitivity analysis Vapor transport
 
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 14. 6. 2021
Identifier: https://is.muni.cz/th/go49e/

Thesis defence

  • Date of defence: 12. 7. 2021
  • Supervisor: Mgr. Adam Obrusník, Ph.D.
  • Reader: Mgr. Peter Klein, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution