Plasma Enhanced CVD of Multicomponent Functional Coatings – Mihai George Muresan, M.Sc.
Mihai George Muresan, M.Sc.
Doctoral thesis
Plasma Enhanced CVD of Multicomponent Functional Coatings
Plasma Enhanced CVD of Multicomponent Functional Coatings
Abstract:
Práce je věnována studiu depozice tenkých vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD). Zkoumány byly dva druhy vrstev: diamantu podobné (DLC) vrstvy a SiOx vrstvy. Cílem bylo připravit tvrdé ochranné vrstvy s nízkým otěrem, nízkým koeficientem tření a s dobrou přilnavostí k ocelovému substrátu. DLC vrstvy byly na ocelový substrát připraveny jednak úpravou DLC struktur přidáním dusíku …moreAbstract:
This thesis presents an investigation into plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) of thin films. Two film types were investigates: diamond-like (DLC) and silicon oxide (SiOx) films. The goal was to prepare hard protective coatings, with low wear and friction coefficient and with good adhesion to steel substrates. A modification of the DLC structure by nitrogen addition or the use of an interlayer …more
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 12. 11. 2015
Identifier:
https://is.muni.cz/th/t4546/
Thesis defence
- Date of defence: 14. 12. 2015
- Supervisor: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
- Reader: Prof. hab. dr. Sigitas Tamulevičius, doc. Ing. Andrey Shukurov, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceDoctoral programme / field:
Physics (4-years) / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Vliv doby aplikace monovrstvy z vívrsté TiN/CrN struktury na mechanické a tribologické vlastnosti povlaku
Michal Palič -
Vliv dvoustupňového přidávání vody na viskoelastické a tribologické vlastnosti taveného sýra
Anna Vincová -
Vliv periody modulace na mechanické a tribologické vlastnosti tenkých vrstev TiN-ZrN aplikovaných povlakovací metodou Arc-PVD
Štěpán Gürtler -
Mechanické a tribologické vlastnosti slitin připravených technologií 3D tisku
Klára Korbelová -
Příprava slitin Co-Cr-Mo s různým obsahem C a jejich tribologické vlastnosti
Eva Stránělová -
Hodnocení vlivu procesních parametrů HVOF nástřiku na mechanické a tribologické vlastnosti tvrdokovových povlaků
Tomáš TARANDA -
Vliv přídavku nanočástic připravených zelenou syntézou na tribologické vlastnosti lubrikantu
Ondřej Seibert -
Mechanické vlastnosti polykarbonátu, akrylonitril-butadien-styrenu, jejich směsí a jejich tahové vlastnosti za zvýšené teploty
Marek Škorec