Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev

Tereza LERCHOVÁ

Bakalářská práce

Anotace:

Předkládaná bakalářská práce se v úvodu věnuje problematice plazmatu a plazmových technologií. V další kapitole popisuje současný stav problematiky na poli modelování výbojů plazmatu během depozice tenkých vrstev. Tato kapitola také obsahuje stručný popis dvou výchozích modelů pro tvorbu rozšířeného parametrického modelu. Dále se práce věnuje metodám zpracování, kde jsou uvedeny odvození rovnic použitých v rozšířeném modelu a volba parametrů. Je zde také uvedeno, jak byly předcházející modely doplněny. V poslední kapitole jsou ukázány výsledky rozšířeného modelu pro dva výbojové režimy a tyto výsledky jsou zde také diskutovány. Diskuse se opírá o experimentální data naměřená u nás na katedře, nebo převzatá z odborné literatury.

Abstract:

At the beginning, the presented bachelor's thesis is focused on the plasma medium and plasma technologies. Next, it describes the current state in the field of modelling of plasma discharges during the deposition of thin films. This chapter also contains a brief description of two models used for the creation of an extended parametric model. Furthermore, the work deals with the used methodology, which presents the derivation of the equations used in the extended model, and parameter selection. There is also referred, how the previous models were extended. In the last chapter, there are shown and discussed results of the extended model for two discharge regimes. The discussion is based on the experimental data measured at our department, or taken from the literature. Key words:

Klíčová slova

Plazma, HiPIMS, vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování, depozice tenkých vrstev, modelování, simulace, rozprašování kovů, parametrický model

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 22. 8. 2017

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta aplikovaných věd

Bakalářský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná a inženýrská fyzika