Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev – Tereza LERCHOVÁ
Tereza LERCHOVÁ
Bachelor's thesis
Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev
Abstract:
Předkládaná bakalářská práce se v úvodu věnuje problematice plazmatu a plazmových technologií. V další kapitole popisuje současný stav problematiky na poli modelování výbojů plazmatu během depozice tenkých vrstev. Tato kapitola také obsahuje stručný popis dvou výchozích modelů pro tvorbu rozšířeného parametrického modelu. Dále se práce věnuje metodám zpracování, kde jsou uvedeny odvození rovnic použitých …moreAbstract:
At the beginning, the presented bachelor's thesis is focused on the plasma medium and plasma technologies. Next, it describes the current state in the field of modelling of plasma discharges during the deposition of thin films. This chapter also contains a brief description of two models used for the creation of an extended parametric model. Furthermore, the work deals with the used methodology, which …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 22. 8. 2017
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Supervisor: Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
LERCHOVÁ, Tereza. \textit{Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev}. Online. Bachelor's thesis. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2017. Available from: https://theses.cz/id/5a4kq1/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
LERCHOVÁ, Tereza. Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev. Plzeň, 2017. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesBachelor programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied and Engineering Physics
Theses on a related topic
-
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů
Milada KREJČOVÁ -
Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů
Milada KREJČOVÁ -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle
Michal TICHÝ -
Vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev
Branislav ZUŠTIN -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia
Jiří REZEK -
Nízkoteplotní depozice vysoce funkčních termochromických povlaků na bázi VO2 použitím pulzního reaktivního magnetronového naprašování
David KOLENATÝ -
Depozice tenkých vrstev pomocí iontového naprašování IBS/IBAD
Jan Hudeček