Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev – Tereza LERCHOVÁ
Tereza LERCHOVÁ
Bakalářská práce
Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev
Anotace:
Předkládaná bakalářská práce se v úvodu věnuje problematice plazmatu a plazmových technologií. V další kapitole popisuje současný stav problematiky na poli modelování výbojů plazmatu během depozice tenkých vrstev. Tato kapitola také obsahuje stručný popis dvou výchozích modelů pro tvorbu rozšířeného parametrického modelu. Dále se práce věnuje metodám zpracování, kde jsou uvedeny odvození rovnic použitých …víceAbstract:
At the beginning, the presented bachelor's thesis is focused on the plasma medium and plasma technologies. Next, it describes the current state in the field of modelling of plasma discharges during the deposition of thin films. This chapter also contains a brief description of two models used for the creation of an extended parametric model. Furthermore, the work deals with the used methodology, which …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 22. 8. 2017
Zveřejnit od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
- Vedoucí: Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
LERCHOVÁ, Tereza. \textit{Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev}. Online. Bakalářská práce. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta aplikovaných věd. 2017. Dostupné z: https://theses.cz/id/5a4kq1/.
Jak správně citovat práci
LERCHOVÁ, Tereza. Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev. Plzeň, 2017. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI
Fakulta aplikovaných vědBakalářský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Aplikovaná a inženýrská fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů
Milada KREJČOVÁ -
Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů
Milada KREJČOVÁ -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle
Michal TICHÝ -
Vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev
Branislav ZUŠTIN -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia
Jiří REZEK -
Nízkoteplotní depozice vysoce funkčních termochromických povlaků na bázi VO2 použitím pulzního reaktivního magnetronového naprašování
David KOLENATÝ -
Depozice tenkých vrstev pomocí iontového naprašování IBS/IBAD
Jan Hudeček