Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností – Zuzana ČIPEROVÁ
Zuzana ČIPEROVÁ
Master's thesis
Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností
Abstract:
Práce se zabývá pulzním reaktivním magnetronovým naprašováním vrstev Zn-Sn-O. Byly připraveny tři série vrstev. Společnými depozičními parametry všech sérií byla: vzdálenost terčů od substrátů dS-T = 60 mm, opakovací frekvence fr = 20 kHz, výbojový proud v pulzu ID = 1,2 A a výbojová hustota na terči v pulzu Wt 20 Wcm-2. První a druhá série byly připraveny při konstantním tlaku v komoře pT = 1 Pa a …moreAbstract:
Subject of the thesis was pulse reactive magnetron sputtering of Zn-Sn-O thin films. Three series were prepared. The common parameters of deposition were: distance between targets and substrates dT-S = 60 mm, pulse repetition frequency fr = 20 kHz, discharge current ID = 1,2 A and power density Wt 20 Wcm-2. The first and second series were prepared under constant pressure in chamber pT = 1 Pa and magnetron …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 9. 8. 2016
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Supervisor: Prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
ČIPEROVÁ, Zuzana. \textit{Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností}. Online. Master's thesis. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2016. Available from: https://theses.cz/id/5ul6f9/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
ČIPEROVÁ, Zuzana. Reaktivní magnetronové naprašování Zn-Sn-O vrstev a charakterizace jejich vlastností. Plzeň, 2016. diplomová práce (Ing.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesMaster programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied Physics and Physical Engineering
Theses on a related topic
-
Pulzní reaktivní magnetronové naprašování termochromických povlaků na bázi VO2
Pavel ČURDA -
Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Michal ŠULA -
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Reaktivní magnetronové naprašování tenkých vrstev s unikálními vlastnostmi
Sergei ZENKIN -
Globální modely plazmatu v reaktivním magnetronovém naprašování v argonu, dusíku a acetylenu
Kristína Tomanková -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-N
Zuzana ČIPEROVÁ -
Reaktivní magnetronové naprašování AlOx/AlN kompozitních vrstev a vyšetření jejich vlastností
Roman SPLÍTEK -
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev CrCuO
Martin JAROŠ