Image filtering in scanning electron microscopes

Bc. Michal Floch

Bakalářská práce

Anotace:

Skenovací elektrónový mikroskop je zariadenie, schopné zachytiť niekoľkonásobne detailnejšie snímky ako optický mikroskop, zachytávaním informácií o topografii a zložení vzorku pomocou elektrónov. Cieľom tejto práce je zoznámiť sa so simulátorom poskytnutým firmou TESCAN, ktorý funguje na báze Everhar-Thornley detektoru a upraviť ho tak, aby bol schopný generovať časovú sekvenciu snímok. Následne sú na tieto snímky aplikované filtre, za účelom odstránenia šumu a zvýšenia kvality obrazu. Implementované filtre sú medzi sebou porovnané a objektívne vyhodnotené.

Abstract:

A scanning electron microscope is a device with the ability to capture much more detailed images than an optical microscope, collecting information about the topography and composition of the sample using electrons emitted from it. The aim of this thesis is to understand and modify the simulator provided by TESCAN, based on the Everhart-Thornley detector, so it can generate images sequentially in time. To reduce noise and improve the quality of resulting captures, these images are filtered. Implemented filters are compared, and their efficiency is objectively evaluated.

Keywords

scanning electron microscope, Everhart-Thornley detector, Python, image, bilateral filter, NLM filter, denoising

Jazyk práce: angličtina

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 25. 5. 2021

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 28. 6. 2021
• Vedoucí: doc. RNDr. Pavel Matula, Ph.D.
• Oponent: doc. RNDr. David Svoboda, Ph.D.

Masarykova univerzita

Fakulta informatiky

Bakalářský studijní program / obor:
Informatika / Informatika