Zpět na vyhledávání

Petr Tomaštík

Bachelor's thesis

Studium tenkých vrstev metodami optické reflektometrie a polarimetrie

Study of thin films by methods of optical reflectometry and polarimetry
Abstract:
Optická polarimetrie a optická reflektometrie jsou metody určené k měření tloušťky SiO2 tenké vrstvy na Si substrátu. Pro určení tloušťky tenké vrstvy metodou optické polarimetrie se využívá poměru mezi spektrálními odrazivostmi p- a s-polarizovaných vln odražených od tenké vrstvy na substrátu. Metoda optické reflektometrie využívá odrazu světla od tenké vrstvy na substrátu a odrazu světla od referenčního …more
Abstract:
Spectral polarimetry and spectral reflectrometry are methods intended for measuring thick-ness of a SiO2 thin film on a Si substrate. For determining the thickness of the thin film by spectral polarimetry method the ratio between the spectral reflectance of p- and s-polarized components reflected from thin film on the substrate is used. Spectral reflectometry method uses reflection of light from a …more
 

Keywords

Optická polarimetrie optická reflektometrie tenká vrstva tloušťka substrát

Keywords

Spectral polarimetry spectral reflectometry thin film thickness substrate
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 15. 5. 2013
Identifier: http://hdl.handle.net/10084/99980

Thesis defence

  • Date of defence: 13. 6. 2013
  • Supervisor: Petr Hlubina
  • Reader: František Staněk

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Accessibility: Plné texty vysokoškolských kvalifikačních prací obhájených na Vysoké škole báňské - Technické univerzitě Ostrava jsou uloženy v repozitáři DSpace. Přístup k plným textům mají všichni uživatelé bez omezení. Přístup je omezen pouze ve výjimečných případech, zpravidla z důvodu ochrany duševního vlastnictví. Nepřístupné práce jsou označeny jako closedAccess nebo embargoedAccess. Tištěné verze prácí jsou uloženy v Ústřední knihovně VŠB-TUO a jsou prezenčně přístupné ve studovně diplomových prací. Další nakládání s prací (kopírování, opisy, MVS) se řídí Knihovní a výpůjčním řádem Ústřední knihovny VŠB-TUO.

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: VŠB - Technická univerzita Ostrava