Určení toků atomů a iontů na substrát v průběhu magnetronového naprašování – Bc. Samuel Kurucz
Bc. Samuel Kurucz
Bachelor's thesis
Určení toků atomů a iontů na substrát v průběhu magnetronového naprašování
Determination of the atom and ion fluxes on the substrate during magnetron sputtering
Abstract:
V této bakalářské práci se zaměřujeme na stanovení toků iontů a atomů při magnetronovém naprašování jak pulzy vysokého výkonu (HIPIMS), tak i stejnosměrným proudem (DCMS). U těchto dvou typů naprašování porovnáváme depoziční rychlost a tok iontů při různých parametrech výboje. Byly změřeny závislosti toků iontů a atomů na výkonu, tlaku a délce pulzu. V této práci jsou zároveň popsány základní principy …moreAbstract:
This thesis addresses the determination of ion and energy fluxes during high-power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) as well as direct current magnetron sputtering (DCMS). We compare the deposition rates and ion fluxes of these two types of sputtering for different discharge parameters. The dependencies for discharge power, pressure, and pulse length were measured. The basic principles of magnetron …more
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 1. 6. 2020
Identifier:
https://is.muni.cz/th/xtpmd/
Thesis defence
- Date of defence: 25. 6. 2020
- Supervisor: Mgr. Peter Klein, Ph.D.
- Reader: doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Physics
Theses on a related topic
-
Fosfolipidové membrány v křemenných mikrovahách
Iurii Lazorenko -
Deposition of functional nanocomposite coatings by PVD and their characterisation
Pavel Souček -
Vliv reaktivního plynu na depoziční rychlost tenkých vrstev na bázi bóru
Pavel Souček -
Povlakování nástrojů PVD technologií HiPIMS
Tereza Havlíková -
Vliv topografie terče na ionizační centra v HiPIMS výboj
Terézia Halamová