Určení toků atomů a iontů na substrát v průběhu magnetronového naprašování – Bc. Samuel Kurucz
Bc. Samuel Kurucz
Bakalářská práce
Určení toků atomů a iontů na substrát v průběhu magnetronového naprašování
Determination of the atom and ion fluxes on the substrate during magnetron sputtering
Anotace:
V této bakalářské práci se zaměřujeme na stanovení toků iontů a atomů při magnetronovém naprašování jak pulzy vysokého výkonu (HIPIMS), tak i stejnosměrným proudem (DCMS). U těchto dvou typů naprašování porovnáváme depoziční rychlost a tok iontů při různých parametrech výboje. Byly změřeny závislosti toků iontů a atomů na výkonu, tlaku a délce pulzu. V této práci jsou zároveň popsány základní principy …víceAbstract:
This thesis addresses the determination of ion and energy fluxes during high-power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) as well as direct current magnetron sputtering (DCMS). We compare the deposition rates and ion fluxes of these two types of sputtering for different discharge parameters. The dependencies for discharge power, pressure, and pulse length were measured. The basic principles of magnetron …více
Jazyk práce: angličtina
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 1. 6. 2020
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/xtpmd/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 25. 6. 2020
- Vedoucí: Mgr. Peter Klein, Ph.D.
- Oponent: doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.
Citační záznam
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Fosfolipidové membrány v křemenných mikrovahách
Iurii Lazorenko -
Deposition of functional nanocomposite coatings by PVD and their characterisation
Pavel Souček -
Vliv reaktivního plynu na depoziční rychlost tenkých vrstev na bázi bóru
Pavel Souček -
Povlakování nástrojů PVD technologií HiPIMS
Tereza Havlíková -
Vliv topografie terče na ionizační centra v HiPIMS výboj
Terézia Halamová