Zpět na vyhledávání

Bc. Martin Šetina

Master's thesis

Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev

Design of plasma deposition control for thin films
Abstract:
Tato práce se zabývá kompletním návrhem a realizací řízení vakuové depoziční komory. Klade si za cíl co nejvíce zmapovat problematiku a navrhnout elektronické řízení, které bude možné snadno přizpůsobovat konkrétním požadavkům výzkumné činnosti v oblasti nanomateriálů a tenkých struktur.
Abstract:
This thesis focuses on the complete design and implementation of control for a vacuum deposition chamber. Its objective is to comprehensively explore the issues and propose electronic control that can be easily adapted to the specific demands of research activities in the field of nanomaterials and thin structures.
 

Keywords

RF PACVD
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 18. 5. 2023

Thesis defence

  • Supervisor: doc. Ing. Stanislav Petrík, CSc.

Citation record

Cite this text
The right form of listing the thesis as a source quoted

Šetina, Martin. Návrh řízení plazmové depozice tenkých vrstev. Liberec, 2023. diplomová práce (Ing.). Technická univerzita v Liberci. Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Technická univerzita v Liberci, Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií
https://stag.tul.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=43398 Reference to the local database file of the institution

Technical University of Liberec

Faculty of Mechatronics, Informatics and Interdisciplinary Studies

Master programme / field:
Electrical Engineering and Informatics / Mechatronics

Theses on a related topic

List of theses with an identical keyword.
 
Name
Posted by
Uploaded/Created
Rights
Theses 7h5d54 7h5d54/2
22/5/2023
Folders
Files
thesis DP_Setina_2023.pdf
Šmída, J.
23/5/2023

  • Co je jinak přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Co je jinak další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Co je jinak pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Co je nové vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Co je nové rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.

  • Co se chystá

    Připravujeme další vylepšení pro mobilní zařízení.